5 ″单晶硅晶片规格
序号   内容 规格 单位 备注
1          
1.1   晶体生长方法 CZ 度  
1.2   晶向 <100> ± 3 degree ASTM F26–B7A
1.3   导电类型 P   ASTM F–42–93
1.4   掺杂剂 硼    
1.5   电阻率 0.5 – 2 o-cm ASTM F–81–95
1.6   RRV N/A %  
1.7   EPD – max 2000 ea/cm 2 ASTM F47–94
1.8   扩长度 N/A μ m  
1.9   寿命 10 μ s  
1.10   含氧量 <1.0 x E18 at/cm 3   ASTM F121–B3
1.11   含碳量 <5.0 x E16 at/cm 3   ASTM F–123–B1
2          
2.1   类型      
2.2   尺寸      
2.3   A 125 ± 0.5 mm  
2.4   B 150 ± 0.5 mm  
2.5   C 84 ± 3 mm  
2.6   D – mm  
2.7   两个面之间的夹角 90 ± 0.3 Degree  
3          
3.1   厚度 240 +/– 30 μ m  
3.2   TTV – max 30 μ m  
3.3   最大弯曲 50 μ m  
3.4   最大扭曲 50 μ m  
3.5   椎度 N/A μ m  
3.6   表面状态 线切割 %  
3.7   表面粗燥度 / μ m  
3.8   最大痕迹深度 20 μ m  
3.9   最大缺口长度 5 mm
3.10   最大缺口深度 0.5 mm  
3.11   外观 无破碎，裂痕，异物和污迹
3.12   包装 每包 100 片
note  
 
   
       
         
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